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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0421026 (1989-10-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 13 |
A wafer transfer apparatus used in manufacturing high density semiconductor products is disclosed which includes at least three movable arms for supporting a wafer from below thereby preventing contact with the active surface of the wafer. A mechanism for moving the arms into and out of its wafer su
An apparatus capable of carrying a disk shaped wafer and eliminating particulate contamination due to sliding contact comprising, in combination: at least three non-deformable arms each having a flange projecting therefrom, each said flange being disposed in a common plane and providing, when said a
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