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Diamond growth method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B44C-001/22
  • C03C-015/00
  • C03C-025/06
출원번호 US-0231750 (1988-08-12)
발명자 / 주소
  • Purdes Andrew J. (Garland TX)
출원인 / 주소
  • Texas Instruments Incorporated (Dallas TX 02)
인용정보 피인용 횟수 : 27  인용 특허 : 4

초록 ▼

Preferred embodiments first adjust reactor conditions to grow a diamondlike film (114) on a silicon substrate (102). Reactor conditions are then adjusted to etch the diamondlike film surface, providing a high density of diamond nucleation sites (108). Finally, the reactor conditions are adjusted to

대표청구항

A diamond film growth method, comprising the steps of: (a) growing a film of diamondlike material; (b) selectively removing graphitic-bonded material from a surface of said film of diamondlike material; and (c) growing a film of diamond on said surface.

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Tsuji, Kazuo, Diamond single crystals, a process of manufacturing and tools for using same.
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  2. Zelez Joseph (Tannersville PA), Diamond-like film and process for producing same.
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  3. Ikegaya Akihiko (Itami JPX) Tobioka Masaaki (Kobe JPX), Method for synthesizing diamond.
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  4. Wu Mu-Sheng (Worthington OH), Process for recovering synthetic diamonds from pressed runs.
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이 특허를 인용한 특허 (27)

  1. Marchywka Michael J., Adhesion of silicon oxide to diamond.
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  2. Malshe Ajay P. ; Naseem Hameed A. ; Brown William D., Apparatus for and method of polishing and planarizing polycrystalline diamonds, and polished and planarized polycrystal.
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  3. Aslam Dean M. ; Sahli Sondes, Electronic device and method of use thereof.
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  4. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S.; Thomas, Kurt, Faucet.
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  5. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  6. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  7. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  8. Brondum, Klaus, Faucet with wear-resistant valve component.
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  9. Hirano, Hitoshi; Domoto, Yoichi; Kuramoto, Keiichi, Hard carbon thin film and method of forming the same.
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  10. Rotter,Shlomo Z.; Heidger,Susan L., Integrated diamond carrier method for laser bar arrays.
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  11. Simpson Matthew A. (Sudbury MA), Method for coating a substrate with diamond film.
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  12. Yu Jin,KRX ; Lee Woong Sun,KRX ; Kim Jung Keun,KRX, Method for making n-type semiconductor diamond.
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  13. Cuomo Jerome J. ; Yehoda Joseph E., Method for polishing a diamond or carbon nitride film by reaction with oxygen transported to the film through a superio.
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  14. Knemeyer Friedel S. (Granville OH) Slutz David E. (Columbus OH), Method for producing flat CVD diamond film.
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  15. Iio Satoshi (Komaki JPX) Watanabe Masakazu (Komaki JPX), Method for producing silicon nitride based member coated with film of diamond.
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  16. Welty,Richard P.; Brondum,Klaus; Richmond,Douglas S.; Jonte,Patrick B., Method of forming a wear resistant component.
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  17. Meroth John (333 Howard St. Northboro MA 01532 4), Method of making synthetic diamond film with reduced bowing.
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  18. Anton, Bryce; Welty, Richard P.; Sullivan, Patrick, Method of producing an article having patterned decorative coating.
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  19. Zhu Wei ; Yang Peichun ; Glass Jeffrey T., Oriented diamond film structures on nondiamond substrates.
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  20. Sathrum Paul E. ; Coll Bernard F., Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition.
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  21. Edward J. Oles, Polycrystalline diamond member and method of making the same.
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  22. Natishan Paul M. ; Morrish Arthur M. ; Edelstein Alan S. ; Everett Richard K. ; Pehrsson Pehr E., Process for making diamond and diamond-coated filaments.
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  23. Windischmann Henry (Northborough MA), Synthetic diamond film with reduced bowing and method of making same.
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  24. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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  25. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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  26. Welty,Richard P.; Brondum,Klaus; Richmond,Douglas S.; Jonte,Patrick B., Valve component with improved wear resistance.
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  27. Welty, Richard P.; Brondum, Klaus; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B., Valve component with multiple surface layers.
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