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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0366539 (1989-06-15) |
우선권정보 | JP-0154108 (1988-06-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 70 인용 특허 : 9 |
An ion-beam irradiation apparatus is provided which has x- and y-deflection magnets to wobble an ion beam for uniformly irradiating a field exceeding the beam diameter in size. An exciting current is supplied to the x- and y-deflection magnets independently, and the exciting current inlcudes both an
An ion beam irradiation apparatus comprising: a particle accelerator for developing an ion beam; first deflection means disposed in the path of said ion beam, for deflecting said ion beam in a first direction perpendicular to the axis of the path of said ion beam; second deflection means disposed in
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