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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0555645 (1990-07-23) |
우선권정보 | JP-0305609 (1988-12-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 4 |
A substrate transfer device containing an arm support member for supporting plural substrate support arms at one ends thereof, said arms having substrate housing areas at the other ends thereof, a structure arranged on a base to freely move in the longitudinal direction of the substrate support arms
A substrate transfer device comprising: an arm support member for supporting plural substrate support arms at one ends thereof, said arms having substrate housing areas at the other ends thereof; a means for moving the substrate support arms arranged on a base to freely move in the longitudinal dire
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