[특허]Air conditioning apparatus for a clean room

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Air conditioning apparatus for a clean room 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01D-053/30
출원번호	US-0596544 (1990-10-11)
우선권정보	JP-0190482 (1990-07-20)
발명자 / 주소	Hama Masaharu (Itami JPX) Fukumoto Takaaki (Itami JPX)
출원인 / 주소	Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 0

초록 ▼

An air conditioning apparatus for a clean room has a filter for removing harmful chemicals provided in the return opening of an air-conditioner. In normal operation where there is no chemical leakage, circulating air in the clean room by-passes the filter. When chemicals and the like leak, the circulating air is caused to pass through the filter by operating shutters in order to remove the chemical mist and the like contained in the circulating air.

대표청구항 ▼

An air conditioning apparatus for a clean room comprising: an air conditioner for circulating air; a supply duct for guiding air from the air conditioner into a clean room; a return duct for guiding air from the clean room to the air conditioner; a filter provided in the return duct for removing a prescribed chemical from air; a chemical sensor for detecting the presence of the prescribed chemical in air from the clean room; a shutter disposed in the return duct and movable between a first position allowing air from the clean room to pass through the return duct without passing through the filter and a second position allowing air from the clean room to pass through the return duct by passing through the filter; and shutter operating means responsive to the chemical sensor for moving the shutter from the first position to the second position when the chemical sensor detects the prescribed chemical.

이 특허를 인용한 특허 (16)

Hagiwara Shigeru (Kawasaki JPX) Tokuda Noriaki (Kawasaki JPX), Air cleaning apparatus used for an exposure apparatus.
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Kinkead Devon A. (Cumberland RI), Air filtering within clean environments.
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Thomas Patricia T. ; Pautz Richard S., Air handling system.
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Kinkead Devon A. (10 Hector Ave. Cumberland RI 02864) Rezuke Robert W. (127 Worcester Rd. North Grafton MA 01536) Higley John K. (14 Saddlebrook Rd. Sherborn MA 01770), Clean room air filtering.
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Kishkovich, Oleg P.; Goodwin, William M., Detection of base contaminants in gas samples.
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Fitch,Thomas M.; Entezarian,Majid; Johnson,James R., Filtration media.
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Fitch,Thomas M.; Entezarian,Majid; Johnson,James R., Filtration media.
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Marra, Johan; Klootwijk, Johan Hendrik; Giesbers, Jacobus Bernardus; De Wild, Nico Maris Adriaan; Bulder, Marcel; Niessen, Rogier Adrianus Henrica; Van Der Linde, Peter, Gas sensing apparatus.
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Entezarian,Majid; Johnson,James R.; Hoopman,Timothy L.; Brunner,Charles S.; Zirps,Christopher T., High capture efficiency baffle.
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Fang, Buh-Kuan, Method and apparatus for reducing particle contamination.
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Fuchs,Karl Hans; Fuchs,Albrecht; Koeger,Samuel, NBC-building protection system and method.
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Joffe Michael A. ; Kinkead Devon A., Performance monitoring of gas-phase air filters.
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Heinemann, Bernhard, Plant for producing semiconductor products.
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Kishkovich Oleg P. ; Kinkead Devon A., Protection of semiconductor fabrication and similar sensitive processes.
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Entezarian,Majid; Fitch,Thomas; Smasal,Richard, Separation apparatus.
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Kishkovich Oleg P. ; Kinkead Devon A., System for detecting base contaminants in air.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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