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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0635655 (1990-12-28) |
우선권정보 | JP-0004337 (1990-01-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 34 인용 특허 : 0 |
A liquid source container device is used for a liquid gas source for a semiconductor manufacturing device. This container device includes a main body for containing a source liquid, to which a gas supply line for transferring the source liquid, and a source liquid delivery line for delivering the li
A liquid source container device for supplying a source liquid to a material tank, the liquid source container comprising: a main body for containing the source liquid; a gas supply line having a first end connected to said main body for introducing a supply gas to the main body to exert a pressure
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