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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0624473 (1990-12-10) |
우선권정보 | JP-0148676 (1988-06-16); JP-0053508 (1989-03-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 39 인용 특허 : 0 |
A cooling system is disclosed which is incorporated in a heat treating apparatus for use in a manufacturing process of a semiconductor device etc. The heat treating apparatus includes a reaction tube for receiving products to be heat treated in its uniformly heated zone, and a heater which surrounds
A vertical type heat-treating apparatus, comprising: a reaction tube extending substantially vertically along a longitudinal direction and containing a uniformly heated zone in which an object to be heat-treated is received; a coil-like heater surrounding the reaction tube; a liner tube provided bet
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