[특허]Flow dividing structure of mass flow controller

Flow dividing structure of mass flow controller 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01F-005/00
출원번호	US-0660552 (1991-02-22)
우선권정보	JP-0228077 (1990-08-31)
발명자 / 주소	Nakajima Takeshi (Tokyo JPX)
출원인 / 주소	Nippon Tylan Corporation (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 28 인용 특허 : 0

초록 ▼

A flow dividing structure for a mass flow controller includes a base having a main passage which includes an upsream circular passage, a downstream circular passage, and a tapering circular passage which connects the upstream and downstream circular passages. A plug inserted in the main passage includes a first cylindrical portion, a second cylindrical portion and a tapering frustoconical portion. A first annular passage is defined between the first cylindrical portion and the inner circumferential surface of the upstream circular passage. A second annular passage is defined between the second cylindrical portion and the inner circumferential surface of the downstream circular passage. A tapering annular passage is defined between the tapering frustoconical portion and the inner circumferential surface of the tapering circular passage. A flow measuring passage bypasses the tapering circular passage and connects the upstream circular passage with the downstream circular passage.

대표청구항 ▼

A flow dividing structure of a mass fluid flow controller, comprising: a housing provided with a main passage for fluid flow therethrough, said main passage having an upstream circular passage, a downstream circular passage, and a tapering circular passage coaxially connecting said upstream circular passage with said downstream circular passage; a plug inserted in said main passage and provided with a first cylindrical portion for forming a first annular passage between an outer peripheral surface thereof and an inner circumferential surface of said upstream circular passage, a second cylindrical portion for forming a second annular passage between an outer peripheral surface thereof and an inner circumferential surface of said downstream circular passage, and a tapering frustoconical portion for forming a tapering annular passage between an outer peripheral surface thereof and an inner circumferential surface of said tapering circular passage, said first and second cylindrical portions extending axially from respectively opposite axial ends of said frustoconical portion, each of said first and second cylindrical portions having a uniform diameter throughout the axial extent thereof; and a flow measuring passage connecting said upstream circular passage with said downstream circular passage.

이 특허를 인용한 특허 (28)

Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Abrams, Robert S.; Ferguson, John; Freedman, Jonathan R.; Pangborn, Robert J.; Sagona, Peter J., Apparatus and method for transporting a vessel to and from a PECVD processing station.
상세보기
Fisk, Thomas E., Coating inspection method.
상세보기
Blumenthal, Roland, Connection fitting.
상세보기
Weikart, Christopher; Clark, Becky L.; Stevenson, Adam; Abrams, Robert S.; Belfance, John, Controlling the uniformity of PECVD deposition.
상세보기
Weikart, Christopher; Clark, Becky L.; Stevenson, Adam; Abrams, Robert S.; Belfance, John; Jones, Joseph A.; Fisk, Thomas E., Controlling the uniformity of PECVD deposition on medical syringes, cartridges, and the like.
상세보기
Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Abrams, Robert S.; Ferguson, John; Freedman, Jonathan R.; Pangborn, Robert J.; Sagona, Peter J., Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods.
상세보기
Mudd Daniel T., Flow controller, parts of flow controller, and related method.
상세보기
Mudd Daniel T. ; Duong Hai, Flow controller, parts of flow controller, and related method.
상세보기
Yamamoto Keiichiro,JPX ; Taniguchi Yoshihiro,JPX, Flow rate detection mechanism with a restriction element for mass flow meters.
상세보기
Boger Henry W., Fluid pressure measuring system for control valves.
상세보기
Ricciardelli, Robert H., Gas flow diverter for respiratory monitoring device.
상세보기
Sagi Nehemiah Hemi ; Zhang Guosen Ronald ; Ghosh Ranajit Rana, Intelligent gas flow measurement and leak detection apparatus.
상세보기
Fisk, Thomas E.; Sagona, Peter J.; Jones, Joseph A., Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics.
상세보기
Sagi Nehemiah Hemi ; Zhang Guosen Ronald ; Ghosh Ranajit Rana, Method and apparatus of nondestructive testing a sealed product for leaks.
상세보기
Sagi, Nehemiah Hemi; Zhang, Guosen Ronald; Ghosh, Ranajit Rana; Wang, Xuguang, Method and apparatus of nondestructive testing a sealed product for leaks.
상세보기
Sagi, Nehemiah Hemi; Zhang, Guosen Ronald; Ghosh, Ranajit Rana; Wang, Xuguang, Method and apparatus of nondestructive testing a sealed product for leaks.
상세보기
Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Kinney, Shawn; Weikart, Christopher; Hunt, Benjamin; Raiche, Adrian; Fitzpatrick, Brian; Sagona, Peter J.; Stevenson, Adam, PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles.
상세보기
Jones, Joseph A.; Felts, John T.; Gresham, James Troy; Lilly, Brian Russell; Fisk, Thomas E., PECVD lubricity vessel coating, coating process and apparatus providing different power levels in two phases.
상세보기
Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Abrams, Robert S.; Ferguson, John; Freedman, Jonathan R.; Pangborn, Robert J.; Sagona, Peter J.; Weikart, Christopher, Passivation, pH protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus.
상세보기
Jones, Joseph A.; Weikart, Christopher; Martin, Steven J., Plasma or CVD pre-treatment for lubricated pharmaceutical package, coating process and apparatus.
상세보기
Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Abrams, Robert S.; Ferguson, John; Freedman, Jonathan R.; Pangborn, Robert J.; Sagona, Peter; Weikart, Christopher; Israelachvili, Jacob, Saccharide protective coating for pharmaceutical package.
상세보기
Weikart, Christopher; Clark, Becky L.; Stevenson, Adam; Felts, John T., Trilayer coated pharmaceutical packaging.
상세보기
Weikart, Christopher; Clark, Becky L.; Stevenson, Adam; Felts, John T., Trilayer coated pharmaceutical packaging.
상세보기
Weikart, Christopher; Clark, Becky L.; Stevenson, Adam; Felts, John T., Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate.
상세보기
Engelhard, Rolf; Tessitore, Joseph Anthony; Renigar, Seth Darrell, Venturi bypass system and associated methods.
상세보기
Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Abrams, Robert S.; Ferguson, John; Freedman, Jonathan R.; Pangborn, Robert J.; Sagona, Peter J., Vessel inspection apparatus and methods.
상세보기
Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Abrams, Robert S.; Ferguson, John; Freedman, Jonathan R.; Pangborn, Robert J.; Sagona, Peter J., Vessel inspection apparatus and methods.
상세보기
Felts, John T.; Fisk, Thomas E.; Abrams, Robert; Ferguson, John; Freedman, Jonathan; Pangborn, Robert; Sagona, Peter, Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods.
상세보기

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

Flow dividing structure of mass flow controller 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허를 인용한 특허 (28)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

Flow dividing structure of mass flow controller 원문보기

초록 ▼

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

이 특허를 인용한 특허 (28)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트