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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0572263 (1990-08-27) |
우선권정보 | DE-3910244 (1989-03-30); DE-4009603 (1990-03-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 23 인용 특허 : 0 |
An apparatus for the inward and outward transfer of a workpiece, particularly of a disk-shaped substrate in a vacuum chamber having a coating system comprising a cathode station. A conveyor means designed as a rotary table is situated inside the vacuum chamber. The rotary table accepts substrate hol
An apparatus for inward and outward transfer of a workpiece to and from a vacuum chamber, comprising: a vacuum chamber; a disk-shaped conveyor means in the vacuum chamber for conveying the workpiece; holding means having a central opening and peripheral support means for supporting the workpiece; a
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