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Apparatus for the inward and outward transfer of a workpiece in a vacuum chamber

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/56
출원번호 US-0572263 (1990-08-27)
우선권정보 DE-3910244 (1989-03-30); DE-4009603 (1990-03-26)
발명자 / 주소
  • Kempf Stefan (Alzenau DEX) Zejda Jaroslav (Rodenbach DEX)
출원인 / 주소
  • Leybold Aktiengesellschaft (DEX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 23  인용 특허 : 0

초록

An apparatus for the inward and outward transfer of a workpiece, particularly of a disk-shaped substrate in a vacuum chamber having a coating system comprising a cathode station. A conveyor means designed as a rotary table is situated inside the vacuum chamber. The rotary table accepts substrate hol

대표청구항

An apparatus for inward and outward transfer of a workpiece to and from a vacuum chamber, comprising: a vacuum chamber; a disk-shaped conveyor means in the vacuum chamber for conveying the workpiece; holding means having a central opening and peripheral support means for supporting the workpiece; a

이 특허를 인용한 특허 (23)

  1. Lambert, Stephen Mark; Ta, Cuong Manh; Mullins, Dennis, Apparatus and method for moving a substrate.
  2. Subramanian, Kartik; Zeng, Xiaobei; Dong, Diane D.; Lim, Wen Chung; Gifford, Kathreen A.; Chumsae, Christopher, Cell culture methods to reduce acidic species.
  3. Kempf Stefan,DEX ; Sichmann Eggo,DEX, Device for gripping, holdings and/or transporting substrates.
  4. Kempf Stefan,DEX, Device for transporting substrates.
  5. Payne, Makonnen; Rajaram, Rekha, Facilities manifold with proximity sensor.
  6. Labkovsky, Boris; Ghayur, Tariq; Gaza-Bulseco, Georgeen; Mishra, Pratibha; Hegde, Subramanya; Krishnan, Sudha, Glycoengineered binding protein compositions.
  7. Ken Lee ; Ke Ling Lee ; Mingwei Jiang ; Robert M. Martinson, Horizontal sputtering system.
  8. Chumsae, Christopher M., Human antibodies that bind human TNF-alpha and methods of preparing the same.
  9. Ramasubramanyan, Natarajan; Yang, Lihua; Herigstad, Matthew Omon; Yang, Hong; Subramanian, Kartik; Zeng, Xiaobei; Dong, Diane D.; Lim, Wen Chung; Gifford, Kathreen A.; Kaymakcalan, Zehra; Chumsae, Christopher, Low acidic species compositions and methods for producing and using the same.
  10. Wang, Chen; Coppola, Germano; Chumsae, Chris, Low acidic species compositions and methods for producing and using the same using displacement chromatography.
  11. Bengea, Cornelia; Rives, Lisa M.; Hossler, Patrick, Methods for controlling the galactosylation profile of recombinantly-expressed proteins.
  12. Hossler, Patrick; McDermott, Sean; Racicot, Christopher; Correia, Ivan, Methods for modulating protein glycosylation profiles of recombinant protein therapeutics using monosaccharides and oligosaccharides.
  13. Rives, Lisa M.; Bengea, Cornelia; Zeng, Xiaobei, Methods to control protein heterogeneity.
  14. Subramanian, Kartik; Thiele, Mayda Perez; Zeng, Xiaobei; Wong, Chee Furng; Chumsae, Christopher M., Methods to modulate lysine variant distribution.
  15. Subramanian, Kartik; Thiele, Mayda Perez; Zeng, Xiaobei; Wong, Chee Furng; Kaymakcalan, Zehra; Jing, Ying; Chumsae, Christopher M., Modulated lysine variant species compositions and methods for producing and using the same.
  16. Masterson Sean P., Physical vapor deposition chamber.
  17. Francis, Aaron T., Pneumatic clamping mechanism for cells with adjustable height.
  18. Ramasubramanyan, Natarajan; Yang, Lihua; Herigstad, Matthew Omon; Yang, Hong; Chumsae, Christopher, Protein purification methods to reduce acidic species.
  19. Wang, Chen; Coppola, Germano; Chumsae, Chris, Protein purification using displacement chromatography.
  20. Lee Ke Ling ; Mazur Mikhail ; Lee Ken ; Martinson Robert M., System and method for handling and masking a substrate in a sputter deposition system.
  21. Ke Ling Lee ; Mikhail Mazur ; Ken Lee ; Robert M. Martinson, System and method for transporting and sputter coating a substrate in a sputter deposition system.
  22. Wentz, Alane E.; Hemmavanh, Don; Matuck, Joseph G., Use of metal ions for modulation of protein glycosylation profiles of recombinant proteins.
  23. Kloss,Ingo, Workpiece feeder device for an electron beam processing device.
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