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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0466973 (1990-01-18) |
우선권정보 | JP-0019230 (1989-01-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 0 |
A wafer transfer method and mechanism in a vertical CVD diffusion apparatus and a control device for the method and mechanism. The vertical-type CVD diffusing apparatus has a boat containing many wafers in a horizontal orientation, stacked vertically. Product wafers are transferred to the boat five
A wafer transfer method for use in a vertical CVD diffusion apparatus provided with a boat having plural spaces arranged in multiple steps, to which spaces wafers are stocked in a horizontal orientation, comprising the steps of; transferring product wafers in groups of five; transferring dummy wafer
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