[특허]Pressure transducer and system for cryogenic environments

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01L-007/08 G01L-009/06 G01L-019/14
출원번호	US-0690198 (1991-04-23)
발명자 / 주소	Chapman John J. (Ware Neck VA)
출원인 / 주소	The United States of America as represented by the Administrator of the National Aeronautics and Space Administration (Washington DC 06)
인용정보	피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 0

초록 ▼

A silicon pressure die is bonded to a borosilicate substrate above a pneumatic port. A Wheatstone bridge circuit is formed on the silicon pressure die and has bridge elements of silicon doped with boron to a deposit density level of approximately 1×1019-1021 boron/cm3. A current source is provided t

대표청구항 ▼

A pressure sensor array system for use below -55°C. comprising: a borosilicate substrate having a plurality of pneumatic ports therethrough; a plurality of sensors mounted on said borosilicate substrate, one sensor above each pneumatic port, each sensor comprising a silicone pressure die and a Wheatstone bridge circuit formed on said silicon die, each Wheatstone bridge circuit comprising bridge elements of silicon doped with boron to a dopant level of approximately 1×1019-1021 boron/cm3.

이 특허를 인용한 특허 (19)

Chapman John J. ; Shams Qamar A. ; Powers William T., Cryogenic, absolute, high pressure sensor.
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Falk Rudolf Edger,CAX ; Asculai Samuel Simon,CAX ; Hochman David,CAX ; Purschke Don,CAX ; Klein Ehud Shmuel,ILX ; Harper David William,CAX, Formulations containing hyaluronic acid.
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Falk Rudolf Edger,CAX ; Asculai Samuel Simon,CAX ; Hochman David,CAX ; Purschke Don,CAX ; Klein Ehud Shmuel,ILX ; Harper David William,CAX, Formulations containing hyaluronic acid.
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Harper David William,CAX ; Klein Ehud Shmuel,ILX ; Falk Rudolf Edger,CAX ; Asculai Samuel Simon,CAX ; Hochman David,CAX ; Purschke Don,CAX, Formulations containing hyaluronic acid.
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Mattsson Olle,SEX, Method for providing temperature compensation for a wheatstone bridge-type pressure sensor.
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Palagonia Anthony Michael ; Pikna Paul Joseph ; Maddix John Thomas, Micro probe assembly and method of fabrication.
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Allen Henry V., Monolithic flow sensor and pressure sensor.
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Moser Thomas M. ; Dolezalek Charles R. ; Jost Michael B. ; Olson Mark H., Mounting assembly for a pressure transmitter.
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Weise,Peter A.; Maher,Thomas R., Multi-channel pressure sensing apparatus.
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Tanaka,Hiroaki; Toyoda,Inao; Kondo,Ichiharu; Totani,Makoto, Pressure sensor.
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Olson Mark H. ; Jost Michael B. ; Bischoff Brian J. ; Moser Thomas M., Pressure transmitter with high pressure isolator mounting assembly.
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Toyoda,Inao, Sensor device having thin membrane and method of manufacturing the same.
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Wilson,Rhonda L.; Malik,Craig; Pawlowski, Jr.,Norman E., Sensors.
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Maxson William R., Solenoid pressure transducer.
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Dotsenko, Vladimir V., Superconductive multi-chip module for high speed digital circuits.
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Hagen Floyd W. (Eden Prairie MN), Three pressure pseudo -D 상세보기

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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