[특허]Interrupted method for producing multilayered polycrystalline diamond films

Interrupted method for producing multilayered polycrystalline diamond films 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-016/00
출원번호	US-0582515 (1990-09-13)
발명자 / 주소	Garg Diwakar (Macungie PA) Lynn Sui-Yuan (Macungie PA) Iampietro Robert L. (Emmaus PA) Wrecsics Ernest L. (Bethlehem PA) Dyer Paul N. (Allentown PA)
출원인 / 주소	Diamonex, Incorporated (Allentown PA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 30 인용 특허 : 0

초록 ▼

The method for depositing multilayers of PCD film onto the substrate comprises chemically depositing a polycrystalline diamond layers onto the substrate at deposition temperatures in the range of 650°to 825°C., interrupting the deposition process with a cool-down step and then depositing at least one other layer under the same deposition conditions. The method enables one to deposit PCD films having a thickness of at least 12 microns for applications on flat as well as curved substrates having wide use in the electronics industry. Thick PCD films of this invention have been found to be ideal for dissipating heat from radio frequency (RF) and microwave (MW) devices.

대표청구항 ▼

A chemical vapor deposition method for producing a coated substrate product comprising: placing a parent substrate comprising a material selected from the group consisting of a single crystal, polycrystalline materials, metal, metal alloy, mixture of metals, ceramic materials and mixtures thereof into a hot filament chemical vapor deposition reactor; chemically vapor depositing a first polycrystalline diamond layer onto said parent substrate using a hot filament during the first of at least two cycles; cooling the coated substrate after the first cycle to a temperature substantially below the deposition temperature; and chemically vapor depositing at least a second polycrystalline diamond layer onto said coated substrate using a hot filament.

이 특허를 인용한 특허 (30)

Karner Johann,ATX ; Bergmann Erich,CHX ; Pedrazzini Mauro,LIX ; Reineck Ingrid,SEX ; Sjostrand Mats E.,SEX, Coated body, method for its manufacturing as well as its use.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S.; Thomas, Kurt, Faucet.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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Brondum, Klaus, Faucet with wear-resistant valve component.
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Johnson Linda F. (1124 Yosemite La. Ridgecrest CA 95555) Klemm Karl A. (665 Crescent Dr. Largo FL 34640) Moran Mark B. (1124 Yosemite La. Ridgecrest CA 93555), Metal initiated nucleation of diamond.
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Akram, Salman; Wood, Alan G., Method and apparatus for conducting heat in a flip-chip assembly.
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Akram, Salman; Wood, Alan G., Method and apparatus for conducting heat in a flip-chip assembly.
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Simpson Matthew A. (Sudbury MA), Method for coating a substrate with diamond film.
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Akram, Salman; Wood, Alan G., Method for conducting heat in a flip-chip assembly.
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Akram,Salman; Wood,Alan G., Method for conducting heat in a flip-chip assembly.
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Lemelson Jerome H. (868 Tyler Way Incline Village NV 89540) Conley James G. (443 Jefferson Ave. Glencoe IL 60022), Method of depositing synthetic diamond coatings with intermediates bonding layers.
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Welty,Richard P.; Brondum,Klaus; Richmond,Douglas S.; Jonte,Patrick B., Method of forming a wear resistant component.
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Plano Linda S. ; Stoner Brian R., Method of forming diamond devices having textured and highly oriented diamond layers therein.
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Meroth John (333 Howard St. Northboro MA 01532 4), Method of making synthetic diamond film with reduced bowing.
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Chouquet, Caroline; Ducros, Cédric; Sanchette, Frédéric, Method of producing a hydrogenated amorphous carbon coating.
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Anton, Bryce; Welty, Richard P.; Sullivan, Patrick, Method of producing an article having patterned decorative coating.
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Dory, Thomas S., Methods of forming a diamond micro-channel structure and resulting devices.
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Tuneburg Lee H. (Sheboygan WI), Orthodontic appliance.
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Terry Bluck ; James H. Rogers, Plasma processing system and method.
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Kim Tae Song,KRX ; Jung Hyung Jin,KRX ; Kim Do Kyung,KRX ; Kim Yoon Chang,KRX, Rapid thermal processing method for ferroelectric, high dielectric, electrostrictive, semiconductive, or conductive cera.
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Szenics Jonathan M., Stringed musical instrument.
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Lemelson Jerome H. ; Conley James G., Synthetic diamond coatings with intermediate amorphous metal bonding layers and methods of applying such coatings.
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Windischmann Henry (Northborough MA), Synthetic diamond film with reduced bowing and method of making same.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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Welty,Richard P.; Brondum,Klaus; Richmond,Douglas S.; Jonte,Patrick B., Valve component with improved wear resistance.
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Welty, Richard P.; Brondum, Klaus; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B., Valve component with multiple surface layers.
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Chern Chyi ; Chen Wei,TWX ; Liao Marvin ; Tseng Jennifer Meng Chu ; Chang Mei, Wafer surface temperature control for deposition of thin films.
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A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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