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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0548323 (1990-07-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 47 인용 특허 : 0 |
A cleaning process involving expanding carbon dioxide from an orifice into a thermally insulated chamber to form small carbon dioxide particles, retaining the small carbon dioxide particles in the insulating chamber until the small carbon dioxide particles agglomerate into large snowflakes, entraini
Apparatus for cleaning substrates comprising means to direct liquid carbon dioxide through at least one orifice having a diameter of between about 500 micrometers and about 1,000 micrometers to form a stream of carbon dioxide particles, said carbon dioxide particles comprising between about 20 perce
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