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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0528051 (1990-05-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 91 인용 특허 : 0 |
A micromechanical accelerometer is disclosed comprising a mass of monocrystalline silicon in which a substantially symmetrical plate attached to a silicon frame by flexible linkages is produced by selective etching. The plate has a plurality of apertures patterned and etched therethrough to speed fu
A monolithic micromechanical accelerometer that includes a semiconductor transducer element, comprising: a mass of semiconductor material having a void on a top surface extending downwards, said mass of semiconductor material comprising a silicon frame; a plurality of flexible linkages integral with
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