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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0525681 (1990-05-21) |
우선권정보 | JP-0128194 (1989-05-22); JP-0142395 (1989-06-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 87 인용 특허 : 0 |
A liquid coating device for coating a solution on a substrate to form a film includes a chuck for rotatably supporting the substrate, a nozzle for supplying the solution on the substrate, a heater provided in the nozzle for changing a temperature of the solution, a sensor for measuring a temperature
A liquid coating device for coating a solution on a substrate to form a film, comprising: means for supporting a substrate; means for supplying a solution on said substrate; means for rotating the supporting means with said substrate thereon; means for measuring a temperature and a humidity of an am
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