[특허]Sealing device

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F16J-015/02 F16J-015/48
출원번호	US-0661109 (1991-02-26)
우선권정보	JP-0045211 (1990-02-26); JP-0071562 (1990-03-20); JP-0222872 (1990-08-24)
발명자 / 주소	Hattori Hisashi (Tama JPX) Iwata Teruo (Nirasaki JPX) Sekizuka Hiroshi (Oome JPX) Kawauchi Yoichi (Ageo JPX) Fujisawa Hisao (Nakaminato JPX)
출원인 / 주소	Tokyo Electron Limited (Tokyo JPX 03) Tokyo Electron Sagami Limited (Kanagawa JPX 03) Kishikawa Special Valve Co., Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 32 인용 특허 : 0

초록 ▼

A sealing device of this invention is designed to prevent entering of the open air through a coupling of a process tube of a CVD apparatus. The sealing device includes a first flange having a mirror-finished face, a second flange having a face which is brought into contact with the face of the first flange, at least one gas guide which is open to at least one of the faces of the first and second flanges and an evacuation system for evacuating a region, in which the first and second flanges are brought into contact with each other, through the gas guide.

대표청구항 ▼

A sealing device for preventing a gas from leaking through a coupling of a member for separating a first gas atmosphere from a second gas atmosphere, comprising: a first sealing member having a first sealing face; a second sealing member having a second sealing face to contact with the first sealing face; a first gas guide which is open to the second sealing face; a second gas guide which is open to the second sealing face and maintained at a pressure equal to or higher than at least the atmospheric pressure; an evacuating means for evacuating a region, in which said first and second sealing members are in contact with each other, through said first gas guide; and an elastic member which can be deformed by a difference between internal pressure and external pressure and covers the opening of the second gas guide; wherein the opening of the first gas guide is narrower than the opening of the second gas guide covered with said elastic member, and said elastic member is drawn to the opening of the first gas guide by suction.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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