[특허]Delivery of reactive gas from gas pad to process tool

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B08B-009/02 B08B-009/06
출원번호	US-0572834 (1990-08-24)
발명자 / 주소	George Mark (23 N. 12th St. Allentown PA 18102)
인용정보	피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0

초록

Remote delivery system for potentially toxic moisture sensitive process gas to a point of use (e.g. CVD system).

대표청구항 ▼

In a system for delivery a potentially toxic moisture sensitive process gas to a tool at a point of use located a substantial distance from a source of supply of said process gas which includes: a source of supply of said process gas; process gas delivery means including means such as a pigtail for connecting said supply of process gas to a point of use through a conduit, said pigtail having a delivery orifice sized to allow the required flow of process gas while eliminating reverse diffusion of atmospheric gases during changing of the source of supply of process gas and means to deliver said process gas at a pressure below its saturation pressure at ambient temperature; a source of supply of purge gas; means connecting said purge gas to said conduit; and means to evacuate said conduit of residual process gas when said source of process gas is removed from said system said evacuation means comprising in combination a vacuum pump having a pump case, the inlet of which is connected through a trap containing a protective adsorbent capable of removing process gas prior to entering said pump, said conduit and said vacuum pump adapted to withdraw process gas from said means to supply process gas to said point of use when said process gas source is removed from the system, said vacuum pump having a pump case purge to strip atmospheric contaminates from the pump oil and to prevent backstreaming of gaseous pump oil to the pigtail.

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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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