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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0740779 (1991-08-06) |
우선권정보 | JP-0210426 (1990-08-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0 |
A turbo molecular pump includes a magnetic bearing system which includes a rotor having an impeller connected to a shaft and a motor. A stator is positioned between the shaft and the impeller. Radial magnetic bearings, an active axial magnetic bearing and emergency bearings are each provided between
A turbo molecular pump including a magnetic bearing system comprising: a rotor including an impeller connected to a shaft and a motor; a stator positioned between the shaft and the impeller; radial magnetic bearings provided between said rotor and said stator, said radial magnetic bearings including
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