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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0748273 (1991-08-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 0 |
A bulk getter-pump, consisting primarily of large beds of heated getter-material for use in pumping down a vacuum chamber to a rough vacuum. The pump is designed for applications now are served by turbo, cryo, diffusion, and ion pumps. The pump consists of a meshed cage filled with bulk getter-mater
In a vacuum chamber that is to be partially evacuated to a rough vacuum of between approximately 2 torr and 10-5 torr, the improvement comprising: a getter pump operatively coupled to said vacuum chamber for pumping down said vacuum chamber to a rough vacuum of between 2 torr and 10-5 torr; a mechan
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