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Rough vacuum pump using bulk getter material 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F04B-037/02
출원번호 US-0748273 (1991-08-21)
발명자 / 주소
  • Danielson Philip (Downers Grove IL)
출원인 / 주소
  • Danielson Associates, Inc. (Lisle IL 02)
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 0

초록

A bulk getter-pump, consisting primarily of large beds of heated getter-material for use in pumping down a vacuum chamber to a rough vacuum. The pump is designed for applications now are served by turbo, cryo, diffusion, and ion pumps. The pump consists of a meshed cage filled with bulk getter-mater

대표청구항

In a vacuum chamber that is to be partially evacuated to a rough vacuum of between approximately 2 torr and 10-5 torr, the improvement comprising: a getter pump operatively coupled to said vacuum chamber for pumping down said vacuum chamber to a rough vacuum of between 2 torr and 10-5 torr; a mechan

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Katagiri, Souichi; Ohshima, Takashi, Charged particle beam system and method for evacuation of the system.
  2. Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX ; Belloni Fortunato,ITX, Compact getter pump with nested thermally insulating shields.
  3. Chumley,Eugene Karl; Monk,David Turner; Hix,Scott Garrison; Addison,William Terry, Crankcase heater mounting for a compressor.
  4. Bonucci, Antonio; Manini, Paolo; Siviero, Fabrizio; Sonato, Piergiorgio, Getter pumping system.
  5. Gabrys,Christopher W.; Campbell,David R., Long-life vacuum system for energy storage flywheels.
  6. Jaim Nulman, Methods and apparatus for forming and maintaining high vacuum environments.
  7. Ecklund, Steven P.; Jarrett, Mark J.; Koland, Lisa P., Methods and apparatus for removing gases from enclosures.
  8. Wang Hougong ; Lai Steve ; Yao Gongda ; Ding Peijun, Reflow chamber and process.
  9. Wang Hougong ; Lai Steve ; Yao Gongda ; Ding Peijun, Reflow chamber and process.
  10. Idris, Fadzli B.; Purushothman, Ganesen, Sputter chamber pressure gauge with vibration absorber.
  11. Steven L. Aggas ; Vijayen S. Veerasamy, Vacuum IG unit with spacer/pillar getter.
  12. Gabrys, Christopher W.; Campbell, David R., Vacuum regeneration method for a flywheel system.
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