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특허 상세정보

Gas adsorber for exhaust gas

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B01D-053/04   
미국특허분류(USC) 55/274 ; 55/387
출원번호 US-0813693 (1991-12-07)
우선권정보 JP-0016746 (1991-01-18)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 0
초록

A gas adsorber which is capable of reliably removing harmful gases discharged from processes in the semiconductor industry, the ceramic industry, etc. The gas adsorber has an integral structure comprising a main treating section having an exhaust gas inlet port and packed with an adsorbent, an auxiliary treating section having a treated gas outlet port and packed with an adsorbent, and a space section provided in between the main and auxiliary treating sections, the space section having a gas outlet port and a gas return port, which provide communication...

대표
청구항

A gas adsorber for exhaust gas comprising: a main treating section having an exhaust gas inlet port and packed with an adsorbent; an auxiliary treating section having a treated gas outlet port and packed with an adsorbent; a gas sensor that indicates the concentration of a predetermined gas; and a space section provided in between said main treating section and said auxiliary treating section, said space section being in fluid communication with said main treating section and said auxiliary treating section, said space section being communicated with sai...