[특허]Vacuum valve and a vacuum treating apparatus in which said vacuum valve is used

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	E03B-011/00
출원번호	US-0721546 (1991-07-25)
우선권정보	JP-0310510 (1989-12-01)
국제출원번호	PCT/JP90/01560 (1990-11-30)
§371/§102 date	19910725 (19910725)
국제공개번호	WO-9108412 (1991-06-13)
발명자 / 주소	Kamiya Osamu (Machida JPX) Ueki Masao (Urayasu JPX)
출원인 / 주소	Canon Kabushiki Kaisha (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 44 인용 특허 : 0

초록 ▼

A vacuum valve includes a first sealing member in contact with the space on a low pressure side of a space shut-off of the vacuum valve is composed of an inorganic material, and a second sealing member in contact with the space on the high pressure side is composed of an elastomer. The sealing state of the vacuum valve is made adjustable in two steps such that the first sealing member and the second sealing member are closed in the first sealing step and in the second sealing step the first sealing member is closed and the second sealing member is open.

대표청구항 ▼

A vacuum valve for use in a vacuum treating apparatus, comprising: a valve element for sealing an open space; a first sealing member supported by said valve element and in contact with a low pressure side of the open space, said first sealing member being composed of an inorganic material; a second sealing member supported by said valve element and in contact with a high pressure side of the open space, said second sealing member being composed of an elastomer, wherein the sealing state of said valve element is adjustable in two steps such that said first sealing member and said second sealing member are closed in the first sealing step and said first sealing member is closed and said second sealing member is open in the second sealing step, and wherein a first pressure difference between the pressure on the low pressure side and the pressure on the high pressure side in the first sealing step is controlled to be smaller than a second pressure difference between the pressure on the low pressure side and the pressure on the high pressure side in the second sealing step.

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Dais, Brian C.; Turvey, Robert R.; Pawloski, James C.; Ackerman, Bryan L.; Zimmerman, Daniel P., Airtight closure mechanism for a reclosable pouch.
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Yamazaki, Shunpei; Seo, Satoshi; Shibata, Noriko, Film formation apparatus and film formation method.
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Turvey, Robert R.; Dais, Brian C.; Zimmerman, Daniel P.; Griffioen, Kelly M., Flow channel profile and a complementary groove for a pouch.
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Turvey, Robert R.; Dais, Brian C.; Zimmerman, Daniel P.; Griffioen, Kelly M., Flow channels for a pouch.
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Hong, Augustin J.; Jung, Woo-Shik; Kim, Jeehwan; Nahum, Jae-Woong; Sadana, Devendra K., Formation of metal nanospheres and microspheres.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Light emitting device.
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Seo,Satoshi; Yamazaki,Shunpei, Light emitting device.
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Seo,Satoshi; Yamazaki,Shunpei, Light emitting device.
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Seo,Satoshi; Yamazaki,Shunpei, Light emitting device and manufacturing method thereof.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Light emitting device and method of manufacturing the same.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Light emitting device and method of manufacturing the same.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Light emitting device and method of manufacturing the same.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Light emitting device and method of manufacturing the same.
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Seo,Satoshi; Yamazaki,Shunpei, Light emitting device having organic light emitting material with mixed layer.
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Yamazaki, Shunpei; Seo, Satoshi; Mizukami, Mayumi, Light-emitting device.
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Yamazaki, Shunpei; Seo, Satoshi; Mizukami, Mayumi, Light-emitting device having mixed layer including hole transporting compound.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Luminescent device.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Luminescent device.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Luminescent device.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Luminescent device and method of manufacturing same.
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Yamazaki,Shunpei; Seo,Satoshi; Shibata,Noriko, Method and apparatus for film deposition.
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Hong, Augustin J.; Kim, Jeehwan; Nah, Jae-Woong; Sadana, Devendra K., Method of fabricating uniformly distributed self-assembled solder dot formation for high efficiency solar cells.
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Bachmann, Christoph; Ehrne, Florian, Method of operating a valve.
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Fogel, Keith E.; Kim, Jeehwan; Nah, Jae-Woong; Sadana, Devendra K.; Shiu, Kuen-Ting, Nanowires formed by employing solder nanodots.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Organic light emitting device and display device using the same.
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Seo, Satoshi; Yamazaki, Shunpei, Organic light emitting element and display device using the element.
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Dais, Brian C.; Ackerman, Bryan L.; Pawloski, James C.; Turvey, Robert R.; Zimmerman, Daniel, Pouch and airtight resealable closure mechanism therefor.
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Turvey, Robert R.; Dais, Brian C.; Pawloski, James C.; Zimmerman, Daniel P.; Griffioen, Kelly M., Pouch with a valve.
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Blahnik,Jeff; Kraus,Joe; Rice,Mike, Single-sided inflatable vertical slit valve.
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Ishida Yasuhiko,JPX ; Hiroki Minoru,JPX ; Kobari Toshiaki,JPX ; Satou Osamu,JPX ; Nakaizumi Yasushi,JPX ; Okura Akimitsu,JPX ; Kimura Hideiti,JPX, Ultra-high vacuum apparatus.
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Dimitrakopoulos, Christos; Hong, Augustin J.; Kim, Jeehwan; Sadana, Devendra K.; Shiu, Kuen-Ting, Uniformly distributed self-assembled cone-shaped pillars for high efficiency solar cells.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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