최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0530857 (1990-05-31) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 0 |
A grid assembly for ion beam sources includes grid structures that are etched from a semiconductor wafer using microelectronic fabrication techniques with the grid structures constrained in an aligned manner by a ceramic carrier having embedded electrically conductive pads for effecting electrical c
A grid assembly for ion beam sources, comprising: a grid structure having an array of apertures for directing ions form an ion source, said grid structure defined by a unitary member having a plurality of orthogonal structural beams defining the array of apertures; an electrically insulating carrier
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.