[특허]Plasma processing method and products thereof

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05D-003/12 C23C-016/00
출원번호	US-0417311 (1989-10-05)
우선권정보	JP-0255491 (1988-10-11); JP-0082015 (1989-03-31)
발명자 / 주소	Yamazaki Shunpei (Tokyo JPX) Hayashi Shigenori (Atsugi JPX) Ishida Noriya (Atsugi JPX) Sasaki Mari (Atsugi JPX) Takeyama Junichi (Atsugi JPX) Itou Kenji (Zama JPX) Kojima Masahiro (Atsugi JPX) Kadono
출원인 / 주소	Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. (Atsugi JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0

초록

Carbonaceous films are coated on a surface by chemical vapor reation. In advance of the deposition of carbonaceous film, a silicon nitride film as coated on the surface to prevent interdiffusion between the carbonaceous film and the underlying surface.

대표청구항 ▼

A method of selectively forming a diamond film on a substrate comprising the steps of: coating a mask on said substrate; scratching the surface of said substrate except the portion that has been covered with said mask; removing said mask; and disposing said substrate in a reaction chamber; growing a

이 특허를 인용한 특허 (18)

Sun Biwu,CAX ; Lau Leo W. M.,CAX, Apparatus and method for nucleation and deposition of diamond using hot-filament DC plasma.
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Yamazaki, Shunpei; Itoh, Kenji; Hayashi, Shigenori, Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating.
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Kohler Gunter A. ; Esswein William H. ; Kirk Seth M. ; Gates Brian J., Article comprising a substrate having a silicone coating.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S.; Thomas, Kurt, Faucet.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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Brondum, Klaus, Faucet with wear-resistant valve component.
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Kohler,Gunter A.; Esswein,William H.; Kirk,Seth M.; Gates,Brian J., Flash evaporation-plasma coating deposition method.
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Gunter A. Kohler ; William H. Esswein ; Seth M. Kirk ; Brian J. Gates, Jet plasma process for deposition of coatings.
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Welty,Richard P.; Brondum,Klaus; Richmond,Douglas S.; Jonte,Patrick B., Method of forming a wear resistant component.
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Anton, Bryce; Welty, Richard P.; Sullivan, Patrick, Method of producing an article having patterned decorative coating.
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Noguchi, Hitoshi; Kubota, Yoshihiro; Okada, Ikuo, Method of producing diamond film for lithography.
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Ulczynski Michael J. ; Reinhard Donnie K. ; Asmussen Jes, Process for depositing adherent diamond thin films.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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Welty,Richard P.; Brondum,Klaus; Richmond,Douglas S.; Jonte,Patrick B., Valve component with improved wear resistance.
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Welty, Richard P.; Brondum, Klaus; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B., Valve component with multiple surface layers.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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