최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0958417 (1992-10-09) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 152 인용 특허 : 0 |
The present invention is an apparatus for cleaning semi-conductor solid surfaces using a spray of frozen cryogen, such as argon, to impinge on the solid surface to remove contaminant particles. The apparatus includes an appropriate nozzle positioned in a housing designed for ultra clean conditions i
An apparatus for cleaning undesired material from a solid surface using a projected spray of discrete substantially frozen cleaning particles which can vaporize after impingement on the solid surface, comprising: a) a generally closed housing in which a solid surface to be cleaned is accommodated an
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.