[특허]Method and arrangement for testing and repairing an integrated circuit

Method and arrangement for testing and repairing an integrated circuit 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01J-037/26 H01J-037/302
출원번호	US-0744933 (1991-08-14)
우선권정보	DE-4027062 (1990-08-27)
발명자 / 주소	Tokunaga Yasuo (Schwaben DEX) Frosien Jurgen (Ottobrunn DEX)
출원인 / 주소	ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fur Halbleiterpruftechnik mbH (DEX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 0

초록 ▼

The invention relates to an arrangement for testing and repairing an integrated circuit in which the ion beam used for the repair simultaneously forms the corpuscular beam used for the test operation and one single beam generator is provided in order to generate this beam. Testing and repairing in one arrangement, without it being necessary to transfer the integrated circuit to be examined, reduces the expenditure in terms of time and cost.

대표청구항 ▼

Apparatus for testing and repairing an integrated circuit comprising: a) a device for testing an integrated circuit having: a 1) an ion source for generating a test ion beam, a 2) means for deflecting the test ion beam; a 3) an electrostatic objective lens for focusing the test ion beam onto the integrated circuit and having three rotationally symmetrical electrodes arranged behind one another in the beam direction, the axis of the test ion beam coinciding with the axis of said objective lens, a 4) a tester for applying an input signal to the integrated circuit, a 5) a secondary electron spectrometer for conversion of the secondary electrons generated by the test ion beam at a measurement point into an electrical actual-value signal, said secondary electron spectrometer including an extraction electrode, a filter electrode, a control circuit and a secondary electron detector having a scintillator, said control circuit connecting said scintillator to said filter electrode, and a 6) a signal-processing circuit for comparing the converted actual-value signal with a theoretical-value signal determined by the input signal, and b) a device for repairing the integrated circuit which has been recognized as defective, comprising: b 1) an ion source for generating a repair ion beam, b 2) a data processor programmable with circuitry data of the integrated circuit, said data processor being able to control the repair ion beam and store the circuitry data for the new integrated circuit produced by the repair; c) the repair ion beam forming the test ion beam, one single beam generator being provided for generating the ion beam.

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Iwabuchi, Yuko; Todokoro, Hideo; Mori, Hiroyoshi; Sato, Mitsugu; Usami, Yasutsugu; Ichihashi, Mikio; Fukuhara, Satoru; Shinada, Hiroyuki; Kaneko, Yutaka; Sugiyama, Katsuya; Takafuji, Atsuko; Toyama, Hiroshi, Method and an apparatus of an inspection system using an electron beam.
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Iwabuchi,Yuko; Todokoro,Hideo; Mori,Hiroyoshi; Sato,Mitsugu; Usami,Yasutsugu; Ichihashi,Mikio; Fukuhara,Satoru; Shinada,Hiroyuki; Kaneko,Yutaka; Sugiyama,Katsuya; Takafuji,Atsuko; Toyama,Hiroshi, Method and an apparatus of an inspection system using an electron beam.
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Yuko Iwabuchi JP; Hideo Todokoro JP; Hiroyoshi Mori JP; Mitsugu Sato JP; Yasutsugu Usami JP; Mikio Ichihashi JP; Satoru Fukuhara JP; Hiroyuki Shinada JP; Yutaka Kaneko JP; Katsuya Sugiyama , Method and an apparatus of an inspection system using an electron beam.
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Butler Bryan V., Multiphase metering method for multiphase flow.
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Arai, Noriaki; Ezumi, Makoto; Ose, Yoichi, Scanning electron microscope.
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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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