[특허]Process and apparatus for producing diamond film

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C01B-031/06 C30B-029/04
출원번호	US-0806246 (1991-12-13)
우선권정보	JP-0402541 (1990-12-15); JP-0052467 (1991-03-18)
발명자 / 주소	Kurihara Kazuaki (Kawasaki JPX) Sasaki Kenichi (Kawasaki JPX) Kawarada Motonobu (Kawasaki JPX)
출원인 / 주소	Fujitsu Limited (Kawasaki JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 35 인용 특허 : 0

초록 ▼

A process and apparatus for producing a diamond film from a gas phase, in which a fuel gas is burnt by oxygen gas in a torch, to thereby provide a gas flame jet having a high temperature and high speed sufficient to form a high quality diamond film on a substrate, by an unlimited use of various kinds of combustible carbon compound gases as the fuel gas. A process and apparatus for producing a diamond film from a gas phase, in which a thermal spray material is fed to a combustion flame to thereby form an intermediate layer of a mixture of the thermal spray material and diamond between a substrate and a diamond film, to thereby provide a high purity diamond film having an improved adhesion to the substrate.

대표청구항 ▼

A process for producing a diamond film, comprising the steps of: supplying oxygen gas and a fuel gas containing a combustible carbon compound to a combustion chamber of a torch at a ratio such that a gaseous mixture is formed having an atomic ratio of carbon greater than the atomic ratio of oxygen; burning said gaseous mixture in said combustion chamber to thereby generate a carbon-rich combustion gas having reducing properties in said chamber; ejecting said combustion gas from said combustion chamber through a nozzle of said torch to thereby form a gas flame jet; applying said gas flame jet to a substrate while maintaining the substrate at a temperature of from 500°C. to 1200°C. to thereby form a diamond film on said substrate.

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