최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0766683 (1991-09-27) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 0 |
Optical metrology apparatus includes one or more first sample point interferometers (SPIs) (16) having a wide dynamic range for measuring a rigid body position of a surface of a structure, such as a segmented mirror (11). At least one second SPI (18), having a lower dynamic range, is employed for me
Optical metrology apparatus for measuring a rigid body position and a shape of a surface associated with a structure, comprising: one or more first sample point interferometer means having a first dynamic range and operating to project illumination to and receive sample beams reflecting from a surfa
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.