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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0633855 (1990-12-26) |
우선권정보 | JP-0343840 (1989-12-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 0 |
A storage vessel maintaining clean environment for storing articles such as semiconductor wafers includes a plurality of receiver fixed to a shaft for horizontal rotation. The receivers support carriers having the articles therein. Both thrust and radial bearings supporting the shaft are of a non-co
A storage vessel for articles, comprising: a storage vessel case; a shaft rotatably disposed within said storage vessel case for rotation about an axis of said shaft; a plurality of receivers spaced from each other along said shaft and extending from said shaft for supporting a plurality of article
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