[특허]Laser-induced chemical vapor deposition of thin-film conductors

Laser-induced chemical vapor deposition of thin-film conductors 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05D-003/06 B05D-005/12
출원번호	US-0812686 (1991-12-23)
발명자 / 주소	Baum Thomas H. (San Jose CA) Comita Paul B. (Menlo Park CA) Lankard Sr. John R. (Mahopac NY) Redmond Thoams F. (Poughkeepsie NY) Wassick Thomas A. (Wappingers Falls NY) Jackson Robert L. (San Jose CA
출원인 / 주소	International Business machines Corporation (Armonk NY 02)
인용정보	피인용 횟수 : 20 인용 특허 : 0

초록 ▼

Control of the local environment during pulsed laser removal of thin film circuit metallurgy is used to change the nature of the top surfaces. Interconnecting such laser treated surfaces with LCVD films results in different growth morphologies, dependent on the nature of the surface created and the debris generated during the ablation process. Flowing helium across the surface during the ablation process results in improved growth morphologies for the same laser writing conditions. A low power laser scan is used to induce metal deposition on the substrate without surface damage. This is followed by several scans at an intermediate laser power to deposit the desired thickness of metal (e.g., about 8 m

대표청구항 ▼

A laser-induced chemical vapor deposition process for interconnecting two points on a thin-film electrical circuit formed on a substrate, comprising the steps of: first scanning a laser beam at a low beam intensity along said dielectric surface between said two points to deposit a conductor on said surface extending between said two points by laser-induced chemical vapor deposition; next scanning a laser beam at a higher beam intensity between said two points to deposit a conductor extending between said two points by laser-induced chemical vapor deposition from a organo-metallic precursor; and modulating the intensity of said laser beam at said higher beam intensity by alternately blocking said laser beam from said surface and transmitting said laser beam to said surface at a frequency that attenuates the transmission of heat along said thin-film surface generated by said scanning laser.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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