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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0626133 (1990-12-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 42 인용 특허 : 0 |
An accelerometer in which the seismic mass is formed in the shape of an annulus. The annular shape allows twisting motions as well as displacement of the seismic mass to be sensed and restoring electrostatic forces applied. This allows the supporting spring to be made extremely weak avoiding the mec
An accelerometer utilizing an annular mass, comprising: a silicon substrate; at least one supporting pedestal mounted on the silicon substrate; a mass configured in the shape of an annulus positioned so as to surround the pedestal; a plurality of electrode pairs mounted on the silicon substrate such
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