[특허]Vertically oriented CVD apparatus including gas inlet tube having gas injection holes

Vertically oriented CVD apparatus including gas inlet tube having gas injection holes 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-016/00
출원번호	US-0809122 (1991-12-18)
우선권정보	JP-0403943 (1990-12-19)
발명자 / 주소	Miyazaki Shinji (Yokohama JPX) Mikata Yuichi (Kawasaki JPX) Moriya Takahiko (Yokohama JPX) Niino Reiji (Kofu JPX) Nishimura Motohiko (Yamanashi JPX)
출원인 / 주소	Kabushiki Kaisha Toshiba (Kawasaki JPX 03) Tokyo Electron Limited (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 0

초록 ▼

A vertically oriented CVD apparatus comprises a reaction chamber, a boat means vertically placed in the reaction chamber to horizontally support a plurality of semiconductor substrates, and a gas inlet tube including a plurality of gas injection holes along a longitudinal axis thereof and extending along a longitudinal side of the boat means to introduce a reaction gas into the reaction chamber. In the structure, a direction of each of the gas injection holes is set at an angle qqq

대표청구항 ▼

A vertically oriented CVD apparatus for depositing a silicon nitride film on a plurality of semiconductor wafers comprising: a reaction chamber including an inner tube having an opened distal end and an outer tube having an exhaust port at a lower portion thereof and covering the inner tube; a boat means, having a top, vertically placed in the inner tube to horizontally support the plurality of semiconductor wafers as a stack; and a gas inlet tube including a plurality of gas injection holes along a longitudinal axis thereof and extending along a longitudinal side of the boat means to introduce a reaction gas, adapted to deposit a silicon nitride film on each of the plurality of semiconductor wafers, into the reaction chamber; wherein the reaction gas is exhausted from the opened distal end of the inner tube through the exhaust port, and a direction of each of the gas injection holes is set at an angle qqq0≤qwhere q0 is an angle between a line tangent to an outer edge of the one of the plurality of semiconductor wafers and passing through the center of the gas inlet tube and the reference line.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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