[특허]Wafer carrier with wafer retaining cushions

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65D-085/48 H77F-007/00
출원번호	US-0842225 (1992-02-26)
발명자 / 주소	Kos Robert D. (Victoria MN)
출원인 / 주소	Fluoroware, Inc. (Chaska MN 02)
인용정보	피인용 횟수 : 32 인용 특허 : 0

초록 ▼

A wafer carrier for circular semiconductor wafers and having slotted sidewalls; cushioning fingers protruding upwardly and obliquely inwardly through the slots in the sidewalls and engaging the wafers and directing pressure against the wafers in a slightly downwardly direction, toward the center of the wafer and toward the lower portion of the sidewall across from the finger applying pressure; the fingers located immediately adjacent above the horizontal centerline of the wafer; and a latch is provided for retaining the fingers against the wafers, but permitting the fingers to be swung outwardly through the slotted sidewalls for releasing the wafers during removal and insertion of the wafers.

대표청구항 ▼

A wafer carrier for circular semiconductor wafers being stored and transported comprising, sidewalls comprising wafer spacing means defining grooves in which the peripheral portions of the wafers are received, the sidewalls comprising lower portions supporting the wafers and upright upper portions accommodating insertion and removal of the wafers, and the sidewalls also comprising intermediate portions between said lower and upper portions and adjacent the horizontal diameters of the wafers, the sidewalls also comprising slots through said upper portions thereof and into said grooves adjacent the intermediate portions of the sidewalls, the edge portions of the peripheral portions of the wafers diverging from the sidewalls and out of the grooves adjacent said slots, a multiplicity of wafer cushioning fingers extending inwardly through said slots and adjacent said intermediate portions of the sidewalls and comprising end portions engaging the diverging edge portions of the wafers to retain the wafers against movement relative to the sidewalls, and mounting means carrying the cushioning fingers and being tiltably mounted on the sidewalls for swinging the fingers away from the wafers and outwardly through the slots for releasing the wafers for removal of the wafers from the wafer carrier.

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