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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0873175 (1992-04-24) |
우선권정보 | JP-0095147 (1991-04-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0 |
An evacuation system in an ultra-high vacuum sputtering apparatus capable of shortening the pumping time of the system. A main pump, composed of a turbo-molecular pump and a baffle is positioned upstream of a main pump and cooled to a temperature in which argon gas is not absorbed and only water is
An evacuation system, comprising: a main pump; an auxiliary pump disposed downstream of said main pump for operating said main pump; a cooling baffle disposed upstream of said main pump; a pipeline for linking said cooling baffle and vacuum container through a first valve; and a pipeline for linking
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