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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0681258 (1991-04-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 85 인용 특허 : 0 |
A structure is provided to integrate bulk structure resonators into a monolithic integrated circuit chip. The chip also contains the remaining circuit components (17, 21, 24) required for the desired system function. Micromachining techniques are used to fabricate both support and a cavity (11, 27,
A monolithic circuit with integrated bulk structure resonator, comprising: a semiconductor substrate; a plurality of integrated circuit components fabricated as part of the semiconductor substrate; a mass supported by a spring directly mounted on the semiconductor substrate; exciting means for apply
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