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Robotic substrate manipulator

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65G-049/07
출원번호 US-0829719 (1992-02-03)
발명자 / 주소
  • Dobbs Michael E. (Brighton MI) Jones Donald B. (Ann Arbor MI)
출원인 / 주소
  • Environmental Research Institute of Michigan (Ann Arbor MI 02)
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 11

초록

A robotic substrate manipulator constructed for substrate handling during thin film deposition in the vacuum of outer space. The robotic substrate manipulator includes a cassette holding a plurality of substrates preferably including six cassettes in a carousel. A circular cylinder encloses the caro

대표청구항

A robotic substrate manipulator comprising: a cassette including a circular carousel having a plurality of substrate holding location stacks disposed along the periphery thereof, each substrate holding location stack having a plurality of substrate holding locations disposed in a stacked relationshi

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Sakashita Takeshi (Itami City JPX), Apparatus for automatic baking treatment of semiconductor wafers.
  2. Schram ; deceased Richard R. (3140 Clybourn Ave. late of Northridge CA) Schram ; executor by Gary R. (3140 Clybourn Ave. Burbank CA 91505), Automated wafer inspection system.
  3. Koller Frank H. (Norridge IL) Peterson Jeffrey P. (Evanston IL) Snizek Robert E. (Colorado Springs CO), Cam-driven rotary pick-and-place assembly apparatus.
  4. Hirose Yoshihiko (Yokohama JPX) Kohmura Noboru (Narashino JPX) Sugita Shigeru (Sayama JPX) Sato Tadashi (Kokubunji JPX), Cartridge auto changer.
  5. Teranishi Shunichi (Anjo JPX), Disk file apparatus.
  6. Boys Donald R. (Cupertino CA) Graves Walter E. (San Jose CA), Disk or wafer handling and coating system.
  7. Inaba Hajimu (Hino JPX) Nakashima Seiichiro (Hino JPX) Inagaki Shigemi (Musashino JPX) Ito Susumu (Hino JPX), Industrial robot.
  8. Davis Cecil J. (Greenville TX) Matthews Robert (Plano TX) Bowling Robert A. (Garland TX), Integrated circuit processing system.
  9. Malin Cosmas (Mauren LIX) Sawatzki Harry (Vaduz LIX), Method and apparatus for holding and conveying platelike substrates.
  10. Hugues Jean B. (Tempe AZ) Weber Lynn (Saratoga CA) Herlinger James E. (Palo Alto CA) Nishikawa Katsuhito (San Jose CA) Schuman Donald L. (Saratoga CA) Yee Gary W. (Santa Clara CA), Method and apparatus for transferring wafers between cassettes and a boat.
  11. Ramunas Valdas S. (Euclid OH), Robot overload detection mechanism.

이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. Hofmeister Christopher A., Coaxial drive elevator.
  2. Lowe,Gregory Earl, Environmentally controllable storage system.
  3. Liu, Ming-Hsun; Tsai, Chung-Hsuan, Handling device and method for the same.
  4. Mitchell Weiss, Person-guided vehicle.
  5. Tzeng, Huan-Liang; Chou, Tzu-Chieh; Cheng, Ping-Jen, Vibration-dampening base for ball-type lead screw of load port transfer system.
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