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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0829719 (1992-02-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 11 |
A robotic substrate manipulator constructed for substrate handling during thin film deposition in the vacuum of outer space. The robotic substrate manipulator includes a cassette holding a plurality of substrates preferably including six cassettes in a carousel. A circular cylinder encloses the caro
A robotic substrate manipulator comprising: a cassette including a circular carousel having a plurality of substrate holding location stacks disposed along the periphery thereof, each substrate holding location stack having a plurality of substrate holding locations disposed in a stacked relationshi
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