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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0848985 (1992-04-21) |
우선권정보 | CH-0002833 (1990-08-31); CH-0000360 (1991-02-06) |
국제출원번호 | PCT/EP91/01586 (1991-08-21) |
§371/§102 date | 19920421 (19920421) |
국제공개번호 | WO-9204569 (1992-03-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 151 인용 특허 : 10 |
A valve is formed from a silicon wafer (20) and has a position detector to detect by contact the position of the valve and hence reveal any malfunction. The position detector comprises a first electrical contact (54) formed on a glass support (32) mounted on the back face of the wafer (20), a second
A micropump comprising a first wafer; at least a second wafer mounted on said first wafer to define a pump chamber; means for causing said pump chamber to take in and drive out a fluid; a valve located downstream from said pump chamber and having a valve body and a valve seat facing the front of the
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