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Laminate material and its use as heat-sink 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B32B-009/04
출원번호 US-0860282 (1992-03-27)
우선권정보 CH-0003931 (1988-10-21)
발명자 / 주소
  • Schachner Herbert (Grand-Lancy CHX) Horlaville Grard (Reignier FRX)
출원인 / 주소
  • Battelle Memorial Institute (Carouge/Ge CHX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 12

초록

The laminate material comprises a sintered silicon carbide substrate (S) on which there is deposited by CVD a diamond layer in an enclosure (1) fed with 1% methane in hydrogen through a conduit (13), this gas mixture being activated by a hot tantalum filament raised to 2000°C. This layer is thereaft

대표청구항

Laminate material comprising in succession a sintered silicon carbide base substrate, a diamond layer and a ceramic layer, characterized in that the ceramic layer is of aluminum nitride.

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Fujimori Naoji (Hyogo JPX) Imai Takahiro (Hyogo JPX), Alumina coated with diamond.
  2. Horiguchi Akihiro (Yokohama JPX) Kasori Mituo (Kawasaki JPX) Ueno Fumio (Kawasaki JPX) Sato Hideki (Yokohama JPX) Mizunoya Nobuyuki (Yokohama JPX) Endo Mitsuyoshi (Yamato JPX) Tanaka Shun-ichiro (Yok, Aluminum nitride sintered body having conductive metallized layer.
  3. Okamura Hisanori (Ibaraki JPX) Akiyama Hirosi (Hitachi JPX) Kamoshita Mutuo (Katsuta JPX) Miyazaki Kunio (Hitachi JPX), Ceramic composite article.
  4. Iwase Nobuo (Kamakura JPX) Anzai Kazuo (Tokyo JPX) Shinozaki Kazuo (Inagi JPX) Tsuge Akihiko (Yokohama JPX) Saitoh Kazutaka (Kawasaki JPX) Iyogi Kiyoshi (Tokyo JPX) Sato Noboru (Yokohama JPX) Kasori , Circuit substrate having high thermal conductivity.
  5. Aldinger Fritz (Rodenbach DEX) Keilberth Richard (Kleinheubach DEX) Werdecker Waltraud (Hanau DEX), Combination of AlN-Y2O3 heat conductive ceramic substrate and electronic component.
  6. Ikegaya Akihiko (Itami JPX) Tobioka Masaaki (Itami JPX), Gaseous phase synthesized diamond and method for synthesizing same.
  7. Yamamoto Kenji (Kobe JPX) Nakayama Takehisa (Kobe JPX) Tawada Yoshihisa (Kobe JPX), High heat conductive insulated substrate and method of manufacturing the same.
  8. Sakamoto Masakatsu (Tokyo JPX) Ohta Shuhei (Tokyo JPX) Iwakura Shiro (Tokyo JPX) Yamazaki Kaoru (Tokyo JPX) Yaguchi Yoichi (Tokyo JPX) Toshima Hiroaki (Tokyo JPX) Sato Tsugio (Tokyo JPX), Method for forming a hard carbon thin film on article and applications thereof.
  9. Werdecker Waltraud (Hanau DEX) Brunner Dieter (GroBostheim DEX) Kutzner Martin (Neuberg DEX), Method for producing sintered metalized aluminum nitride ceramic bodies.
  10. Ogura Atsushi (Tokyo JPX) Egami Koji (Tokyo JPX), Semiconductor device.
  11. Takeda Yukio (Hitachi JPX) Ogihara Satoru (Hitachi JPX) Ura Mitsuru (Hitachi JPX) Nakamura Kousuke (Hitachi JPX) Asai Tadamichi (Ibaraki JPX) Ohkoshi Tokio (Hitachi JPX) Matsushita Yasuo (Hitachi JPX, Sintered aluminum nitride semi-conductor device.
  12. DeGree David C. (Burnsville MN) Fick Herbert J. (Northfield MN) Juenger Bruce H. (Northfield MN), Thermally conductive, electrically insulative laminate.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Slutz,David E.; Finke,Steven J., CVD diamond-coated composite substrate containing a carbide-forming material and ceramic phases and method for making same.
  2. Azuma, Masanobu, Heat sink and its manufacturing method.
  3. Yasuhisa Yushio JP; Hirohiko Nakata JP; Masuhiro Natsuhara JP, Susceptor for semiconductor manufacturing equipment and process for producing the same.
  4. Yushio, Yasuhisa; Nakata, Hirohiko; Natsuhara, Masuhiro, Susceptor for semiconductor manufacturing equipment and process for producing the same.

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