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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0946820 (1992-09-18) |
우선권정보 | JP-0322523 (1990-11-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 0 |
A method and apparatus for eliminating electric charges in a clean room is disclosed involving removing fine and superfine grains from air in the clean room, and generating ions in the thus purified air inside the room.
A method for removing electric charges in a clean room comprising the steps of: removing fine grains from air supplied to the clean room by using a first filter; feeding the air from the first filter, which includes superfine grains, to a purifying discharge electrode, and thereby depositing superfi
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