[특허]Arrangement for coupling in of microwave energy

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01P-007/04
출원번호	US-0910879 (1992-07-10)
우선권정보	DE-4122802 (1991-07-10)
발명자 / 주소	Krmmel Harald (Mainz DEX) Mrsen Ewald (Ingelheim/Rhein DEX) Vogt Helge (Nackenheim DEX) Weidmann Gnter (Armsheim DEX)
출원인 / 주소	Schott Glasewerke (Mainz DEX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 40 인용 특허 : 0

초록 ▼

An arrangement for coupling microwave energy with a reaction chamber, including electrically stable tuning and being, within limits, tolerant against changes in critical dimensions and power fluctuations. A coaxial line between a hollow waveguide and the reaction chamber is of such a structure that it forms, at least together with the reaction chamber, a loss resonator for the microwave frequency employed. The coaxial line can comprise an absorber or, alternatively, can be made of a poorly conductive material. There is also the possibility of downgrading the quality of the resonator by leaving an annular gap between a metal plate and an outer conductor section.

대표청구항 ▼

An arrangement for coupling microwave energy into a reaction chamber (14) with a waveguide (2) comprising: (a) a plasma CVD coating device (16) within the reaction chamber (19); (b) a coaxial waveguide (4) located between the waveguide (2) and the reaction chamber (14) wherein (c) the coaxial waveguide (4) and the reaction chamber (14) combine to form a resonator for a predetermined microwave frequency to be employed; (d) the resonator being configured with predetermined losses; (e) the coaxial waveguide (4) including at least first and second sections (5,8) and (6,9), respectively; (f) the first section (5,8) being connected to the waveguide (2) and having a diameter defined by an inner conductor (8) formed by the first section (5,8) of the coaxial waveguide and an outer conductor (5) formed by the first section (5,8) of the coaxial waveguide wherein the diameter increases continuously towards the reaction chamber (14); and (g) wherein said second section (6,9) has a coaxial waveguide section with a constant diameter (D2).

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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