[특허]Method for making free-standing diamond film

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B29C-041/42 B29C-041/48 C23C-016/76 C23C-016/50
출원번호	US-0973994 (1992-11-10)
발명자 / 주소	Simpson Matthew (Arlington MA) Frey Robert M. (Worcester MA)
출원인 / 주소	Norton Company (Worcester MA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 40 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method for making a free-standing synthetic diamond film of desired thickness, including the following steps: providing a substrate; selecting a target thickness of diamond to be produced, the target thickness being in the range 200 microns to 1000 microns; finishing a surface of the substrate to a roughness, RA, that is a function of the target thickness, the roughness being determined from [Figure] where t is the target thickness; depositing an interlayer on the substrate, the interlayer having a thickness in the range 1 to 20 microns; depositing synthetic diamond on the interlayer, by chemical vapor deposition, to about the target thickness; and cooling the synthetic diamond to effect the release thereof.

대표청구항 ▼

A method for making a free-standing synthetic diamond film of a target thickness, comprising the steps of: providing a substrate; selecting a target thickness of diamond to be produced, said target thickness being in the range 200 microns to 1000 microns; finishing a surface of the substrate to a roughness, RA, that is a function of the target thickness, said roughness being determined from [Figure] where t is the target thickness; depositing an interlayer on said substrate, the interlayer having a thickness in the range from 1 to 20 microns; depositing synthetic diamond on said interlayer, by chemical vapor deposition, to about the target thickness; and cooling said synthetic diamond to effect the release thereof.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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