[특허]System for precision cleaning by jet spray

Hughes Aircraft Company (Los Angeles CA 02)

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System for precision cleaning by jet spray

특허상세정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B24C-003/12 B24C-001/00
미국특허분류(USC)	51/415 ; 51/426 ; 51/410 ; 51/320
출원번호	US-0769894 (1991-10-01)
발명자 / 주소	Peterson Ronald V. (Thousand Oaks CA) Krone-Schmidt Wilfried (Fullerton CA)
출원인 / 주소	Hughes Aircraft Company (Los Angeles CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 194 인용 특허 : 0

초록
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A system for precision cleaning of contaminants from the surface of a substrate, such as delicate surfaces or precision parts, utilizing streams of carbon dioxide snow or other cleaning gas. The system includes an enclosed or sealed cleaning container in which at least one jet spray device is housed for directing a stream of cleaning snow against the surface to be cleaned. During cleaning, the cleaning container holding the substrate to be cleaned is maintained under a vacuum or, optionally, at ambient pressure, filled with a clean dry gas. The dislodged contaminants and spent snow are removed from the cleaning zone and disposed of or recycled. Cleaning is accomplished by pulsed application of the cleaning snow in combination with intermittent or continuous heating of the surface so that the surface is at an elevated temperature prior to and during each application of cleaning snow. The jet spray devices which are utilized in the system are oriented so that the cleaning snow streams contact planar surfaces at grazing angles of 5 to 45 degrees. When non-planar parts are being cleaned, the jet spray devices are adjusted to provide an angle of about 45 to 90 degrees. Monitoring of the cleanliness of the parts is accomplished during the cleaning process, by a light scatter method or by a particle monitor and residual gas analysis of the exhaust gas or other analysis of the exhaust gas. The system is particularly useful in removing contaminants from the delicate surfaces or precision parts which are utilized in precision optical and electronic devices.

대표
청구항
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A system for precision cleaning of contaminants from a surface of a substrate comprising: a cleaning container having walls which define an enclosed cleaning zone; at least one jet spray device located within said enclosed cleaning zone and having an inlet and an outlet; means for producing a stream of cleaning snow comprising a stream of gas entraining ice particles of said gas, wherein said stream is emitted from the outlet of said jet spray device; a stage located within said enclosed cleaning zone, for holding said substrate during precision cleaning thereof; means for directing said stream of snow from said outlet of said jet spray device onto said surface of said substrate to remove said contaminants from said surface; means for removing contaminants and cleaning snow from said cleaning zone; and means for monitoring the extent of cleaning of contaminants from said surface during said cleaning process, said means for monitoring comprising means for detecting the amount of said contaminants exiting said cleaning zone.

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