$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Integrated tip strain sensor for use in combination with a single axis atomic force microscope 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-027/00
  • G01N-023/00
출원번호 US-0999059 (1992-12-31)
발명자 / 주소
  • Clabes Joachim (Yorktown Heights NY) Khoury Henri A. (Yorktown Heights NY) Landstein Laszlo (Ossining NY)
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation (Armonk NY 02)
인용정보 피인용 횟수 : 22  인용 특허 : 0

초록 ▼

An integrated tip strain sensor is combination with a single axis atomic force microscope (AFM) for determining the profile of a surface in three dimensions. A cantilever beam carries an integrated tip stem on which is deposited a piezoelectric film strain sensor. A high-resolution direct electron b

대표청구항 ▼

A probe for a metrology tool for measuring critical dimensions in a sample comprising: a tip stem on which is grown a tip, said tip stem being an integrated tip stem, wherein said integrated tip stem includes a piezoelectric film strain sensor, said piezoelectric film strain sensor having a pluralit

이 특허를 인용한 특허 (22)

  1. Adderton Dennis M. ; Minne Stephen C., Active probe for an atomic force microscope and method of use thereof.
    상세보기
  2. Chen Dong ; Flecha Edwin ; Hammond James Michael ; Martin Yves Corfield ; Roessler Kenneth Gilbert, Apparatus and method for determining side wall profiles using a scanning probe microscope having a probe dithered in lateral directions.
    상세보기
  3. Jung Pan S. (Gilbert AZ) Yaniv Daphna R. (Scottsdale AZ), Atomic force microscope employing beam tracking.
    상세보기
  4. Jung Pan S. ; Yaniv Daphna R., Atomic force microscope employing beam-tracking.
    상세보기
  5. Xu Shaohua ; Arnsdorf Morton F., Atomic force microscope for biological specimens.
    상세보기
  6. Mamin Harry Jonathon ; Rugar Daniel ; Chui Benjamin Wai-Ho ; Kenny Thomas William, Atomic force microscopy data storage system with tracking servo from lateral force-sensing cantilever.
    상세보기
  7. Xi, Ning; Fung, Wai Keung; Yu, Mengmeng; Li, Guangyong, Augmenting reality system for real-time nanomanipulation using atomic force microscopy.
    상세보기
  8. Han Wenhai ; Lindsay Stuart M. ; Jing Tianwei, Cantilevers for a magnetically driven atomic force microscope.
    상세보기
  9. Lindsay Stuart M. (Tempe AZ), Formation of a magnetic film on an atomic force microscope cantilever.
    상세보기
  10. Chernoff Donald A. ; Lohr Jason D., High precison calibration and feature measurement system for a scanning probe microscope.
    상세보기
  11. Lindsay Stuart M. ; Jing Tianwei, Hybrid control system for scanning probe microscopes.
    상세보기
  12. Han Wenhai ; Lindsay Stuart M. ; Jing Tianwei, Magnetic modulation of force sensor for AC detection in an atomic force microscope.
    상세보기
  13. Burke Peter A., Method and apparatus for measuring critical dimensions on a semiconductor surface.
    상세보기
  14. Dubois, Daniel, Method for determining the deformation amplitude of a touch probe.
    상세보기
  15. Flecha Edwin ; Klos Martin Allen ; Roessler Kenneth G. ; Stowell Robert Marshall, Method for improving measurement accuracy using active lateral scanning control of a probe.
    상세보기
  16. Freitag, Bert Henning; Rosenthal, Georg Alexander; Phifer, Jr., Daniel Woodrow, Method for inspecting a sample.
    상세보기
  17. Flecha Edwin ; Roessler Kenneth Gilbert ; Stowell Robert Marshall, Method for protecting a probe tip using active lateral scanning control.
    상세보기
  18. Chui Benjamin W. ; Kenny Thomas W., Micromachined cantilever structure providing for independent multidimensional force sensing using high aspect ratio beam.
    상세보기
  19. Stewart, Ray F., Phase change sensor.
    상세보기
  20. Nakayama, Tatsuki, Surface property measuring apparatus and method for controlling the same.
    상세보기
  21. Burnside, Jason Lee; Hovis, Gregory Lee; Germann, Bryan J.; Ward, Jr., John David; Ranson, William F., Systems and methods for monitoring component deformation.
    상세보기
  22. Burnside, Jason Lee; Hovis, Gregory Lee; Germann, Bryan J.; Ward, Jr., John David; Ranson, William F., Systems and methods for monitoring turbine component strain.
    상세보기

관련 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로