[특허]In-line detector system for real-time determination of impurity concentration in a flowing gas stream

In-line detector system for real-time determination of impurity concentration in a flowing gas stream 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-029/02
출원번호	US-0930184 (1992-08-17)
발명자 / 주소	Tom Glenn M. (New Milford CT)
출원인 / 주소	Novapure Corporation (Danbury CT 02)
인용정보	피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 0

초록 ▼

An in-line detector system for real-time detection of impurity concentration in a flowing gas stream. In a specific aspect, the system may comprise a purifier unit for selective purification of gas from the gas stream, and an impurity addition unit for imparting a predetermined concentration of impurity to the gas stream, whereby the resulting concentration sensings of the purified gas, and the impurity-enhanced gas are usefully employed to calibrate an impurity concentration sensor, for continuous accurate sensing of impurity concentration in the flowing gas stream. The system may utilize hygrometric sensors in the case of water as a critical impurity, or surface acoustical wave (SAW) devices coated with suitable impurity-affinity coatings. The system has particular utility in monitoring low impurity concentration levels (e.g., from about 0.1 ppm to about 100 ppm) in gas streams employed in vapor-phase processes such as chemical vapor deposition in the manufacture of semiconductor devices.

대표청구항 ▼

An in-line detector system for sensing concentration of an impurity species in a flowing gas stream, which is conveniently calibratable, said system comprising: a purifier unit for gas stream impurity removal; an impurity introduction source for selectively introducing a known, selected concentration of impurity to gas contacted therewith; and means defining a flow passage assembly having an inlet end and an outlet end, and constructed and arranged: for flowing at least a portion of gas from the flowing gas stream through the purifier unit to yield impurity-reduced gas; for flowing impurity-reduced gas to an impurity concentration sensing locus; in selective flow communication relationship with the impurity introduction source for contacting gas from the flowing gas stream with impurity to yield impurity-enhanced gas containing a known, selected concentration of impurity, and for flowing impurity-enhanced gas to an impurity concentration sensing locus; and for discharging impurity-reduced gas and impurity-enhanced gas from the outlet end.

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