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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | B08B-007/00 |
미국특허분류(USC) | 134/7 ; 134/1 |
출원번호 | US-0813872 (1991-12-24) |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 | |
인용정보 | 피인용 횟수 : 72 인용 특허 : 0 |
A method is provided for removing material from a structure having at least one layer of material formed on a substrate. The method includes the steps of irradiating a target area of a structure with radiant energy sufficient to break or weaken chemical bonds in the material, and impinging the target area with a particle stream to remove the pyrolyzed material from the structure. The method may be implemented by a system comprising a housing having a window; a radiant energy source mounted in the housing for irradiating the target area of the structure w...
A method of removing material from a structure having a substrate covered with at least one layer of material, the method comprising the steps of: irradiating a portion of the material with radiant energy to heat the material sufficiently to break molecular bonds in the material and impinging the structure with a particle stream of frozen gas particles sufficiently close to the irradiating step to cool the substrate, maintaining the substrate at a temperature substantially below the temperature of the heated material, the particle stream also acting to r...