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Digital capacitive accelerometer 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01P-015/125
출원번호 US-0925828 (1992-08-07)
발명자 / 주소
  • Tang William C. (Ann Arbor MI)
출원인 / 주소
  • Ford Motor Company (Dearborn MI 02)
인용정보 피인용 횟수 : 34  인용 특허 : 0

초록

A digital capacitive accelerometer is disclosed as having a fixed plate mounted on a support member and a sprung plate resiliently mounted in spaced relationship to the fixed plate to form a capacitor. A voltage is connected across the plates to establish an electrostatic force that pulls the sprung

대표청구항

A digital capacitive accelerometer comprising: a support member; a fixed plate mounted on said support member; a sprung plate; resilient means for resiliently supporting said sprung plate to said support member at a rest position in spaced relationship to said fixed plate, and biasing said sprung pl

이 특허를 인용한 특허 (34)

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  2. Mori, Takeshi; Kuroda, Keisuke; Yoshida, Hitoshi; Goda, Kazuo; Taura, Takumi; Ueda, Hideki, Acceleration sensor.
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  6. McAllister, Abraham; Smith, Malcolm; Zafiriou, Kostas; Day, David; Butler, Michael, Apparatus and method providing a hand-held spectrometer.
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  33. Lin, Yizhen; McNeil, Andrew C.; Schlarmann, Mark E., Stiction resistant mems device and method of operation.
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