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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0279844 (1988-12-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 0 |
A movable cantilevered purge system providing for a wafer load position, a wafer purge position, and a wafer process position. The movable cantilevered purge system includes an elephant carrier vehicle for movement of a movable quartz elephant tube. The movable quartz elephant tube includes a purge
Elephant tube for processing of substrates for positioning between a substrate processing furnace and a cantilevered paddle clamping vehicle comprising: a. a movable quartz elephant tube; b. gas purge injector means positioned within said elephant tube; c. a first sealing door means for engaging aga
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