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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0163855 (1993-12-07) |
우선권정보 | DE-4302794 (1993-02-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 0 |
A plunger (14) is displaceably mounted in a vacuum chamber (42) and movable on a first linear path into the plane of substrate (20), for the mounting and for the transport of the mask (15) provided with a bore (32) receiving the plunger (14). A slide (41) having a forked extremity is movable from an
Apparatus for transporting a substrate into and out of a vacuum chamber, said substrate being of the type comprising a disk having a central hole, said apparatus comprising a vacuum chamber; a mask having a blind central bore, means for engaging said central hole of said substrate, and an annular fl
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