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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0030864 (1993-03-12) |
우선권정보 | JP-0162225 (1992-05-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 0 |
A gas feeder for feeding a gas is disclosed. The gas feeder comprises a bubbler holding a source liquid and passing a carrier gas through the liquid, a first sensor provided upstream of the bubbler, sensing the volumetric flow of the carrier gas and producing a carrier gas flow signal, a second sens
A gas feeder, comprising: a bubbler holding a source liquid and passing a carrier gas through the source liquid to bubble the source liquid to produce a gas mixture of the carrier gas and a source gas derived from the source liquid; a first sensor sensing the flow of the carrier gas; a second sensor
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