[특허]Micromachined microaccelerometer for measuring acceleration along three axes

Micromachined microaccelerometer for measuring acceleration along three axes 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01P-015/13
출원번호	US-0866667 (1992-04-08)
발명자 / 주소	Lane Richard L. (Penfield NY)
출원인 / 주소	Rochester Institute of Technology (Rochester NY 02)
인용정보	피인용 횟수 : 51 인용 특허 : 0

초록 ▼

The present invention relates to a microaccelerometer employing a single free-mass and capable of measuring acceleration along three coordinate axes, and a process for fabricating through micromachining and microelectronic techniques a microaccelerometer employing a free-mass. A microaccelerometer preform is constructed by chemically coating and etching a silicon wafer to form a support member and a free-mass surrounded by the member. The free-mass is movable with respect to, but constrained by the silicon support member. Acceleration measurements are obtained by circuits which sense changes in the position of the free-mass with respect to an equilibrium position, induced by a change in the rate of acceleration of the accelerometer, and the electromagnetic force required to restore the free-mass to its equilibrium position.

대표청구항 ▼

A microaccelerometer comprising: a thin planar sheet having first and second substantially planar surfaces, said sheet having a cavity extending between said first and second substantially planar surfaces, wherein said cavity has a cross-section which has a narrowest point at an interior location in said sheet; a free-mass having a pair of ends and a central portion between said ends, wherein said free-mass has a cross-section with said central portion being narrower than said narrowest point of said sheet and said ends being wider than said narrowest point of said sheet to locate said free-mass in a position relative to said sheet, whereby said free-mass is restrained by and moveable with respect to said sheet; sensing means for detecting said free-mass\s position relative to said sheet and generating one or more signals indicative of said position of said free-mass; position correction means for receiving position indication signals from said sensing means, exerting a restorative force on said free-mass to an equilibrium position, and generating one or more signals indicative of said restorative force; and computing means for generating an acceleration value from said one or more signals indicative of said position of said free-mass and said one or more signals indicative of said restorative force.

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