[특허]High purity bulk chemical delivery system

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F26B-003/00
출원번호	US-0049042 (1993-04-16)
발명자 / 주소	Mostowy Jr. Lewis J. (Fogelsville PA) Chowdhury Naser M. (Schnecksville PA)
출원인 / 주소	Air Products and Chemicals, Inc. (Allentown PA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 0

초록 ▼

An apparatus and method are described for delivering hygroscopic, corrosive chemicals such as hydrogen chloride from a source such as a tube trailer to a use point such as a semiconductor fabrication tool minimizing infiltration of moisture, and entrainment of particulates, while still reducing mois

대표청구항 ▼

A process for transferring and delivering a hygroscopic, corrosive chemical from an elevated pressure source of supply to a lower pressure use point comprising: (a) conveying said chemical from said source of supply to a delivery conduit by operation of an appropriate valve; (b) heating said chemical and removing moisture from the chemical by passage of the chemical through a dehydrator; (c) heating said chemical and reducing the pressure on the chemical from substantially an elevated pressure of said source of supply to a lower pressure of said use point by passage through at least one pressure regulator; (d) delivering said chemical at reduced pressure to a use point in a substantially dehydrated single phase gaseous condition.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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